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芯片制(zhi)造化學機械(xie)研(yan)磨廢水處理回(hui)用(yong)摘要:化學機械(xie)研(yan)磨廢水產生量大但(dan)總體污染物濃(nong)度(du)不高(gao),回(hui)用(yong)潛(qian)力巨(ju)大,其處理及(ji)回(hui)用(yong)技術是芯片制(zhi)造企(qi)業(ye)的研(yan)究(jiu)。文章。
化學機械研磨廢水處理及回用技術的研究進展-《環境科學與技術》
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2012年1月18日-什么是研磨加工(gong)(gong)?發布時間:2013-01-18來源:機械專(zhuan)家網利(li)用涂敷(fu)或壓嵌在研具上的磨料顆粒,通過研具與工(gong)(gong)件(jian)在一定壓力(li)。
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先進銅化學機械研磨技術半導體工藝突破65nm節點-測試與測量-
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