MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(FBAR)研究
在固態裝配型諧振(zhen)器(SMR)方面,論文采(cai)用(yong)上述模型分析了四分之一(yi)波(bo)長布拉格反(fan)射柵(zha)對其諧振(zhen)特(te)性(xing)的影響,得到了SMR器件獲得理想性(xing)能所(suo)需的少(shao)反(fan)射柵(zha)對數;另外,考慮到實際。
石英晶體諧振器行業技術文章_慧聰網
壓電層的典型厚度在(zai)幾個微米或壓力場(chang)看起來與(單晶的)石英(ying)模式的石英(ying)這種(zhong)類型的BAW被稱為(wei)固態裝配諧振器(SMR)。魯(lu)棒性而言,,則可減少(shao)諧振器。
ZnO固態裝配型諧振器(SMR)的模擬分析-《中國聲學學會2007年青年
ZnO固態裝配型諧振器(qi)(SMR)的(de)模(mo)擬分(fen)析湯亮郝震宏喬東海汪承灝摘要:正1引言(yan)近年來(lai),薄膜體聲波諧振器(qi)(FBAR)由于其較小(xiao)的(de)體積以(yi)及(ji)可與(yu)IC電(dian)路進行單。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析_百度文庫
這樣形成(cheng)的諧振(zhen)器是固態裝配(pei)諧振(zhen)器(SMR)。在一個實施(shi)例中(zhong),襯底(di)12由硅(gui)(Si)制成(cheng),PZ層(ceng)18由氮化鋁(AlN)制成(cheng)。或(huo)者(zhe),也(ye)可以使用其他的壓(ya)電材(cai)料來制作PZ層(ceng)18。在一。
CN1845453A-使用填充凹進區的聲諧振器的性能增強-Google
基于CMOS工(gong)藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW第2頁(ye)/共6頁(ye)<上(shang)一頁(ye)下這(zhe)種(zhong)類型的BAW被稱為(wei)固態(tai)裝(zhuang)配諧振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的BAW要好(hao)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_中華文本庫
這種類型的(de)(de)BAW被稱為固態裝(zhuang)配(pei)諧(xie)振器(SMR)。魯棒性而言,SMR比膜結構的(de)(de)BAW要好很(hen)多。在劃片和裝(zhuang)配(pei)所需的(de)(de)各種標準工(gong)序(xu)中,沒有機械損壞的(de)(de)風(feng)險。壓電層和電極層上。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器(BAW)
和電極做成(cheng)膜結構或一(yi)并沉積到(dao)一(yi)個(ge)薄的(de)支(zhi)撐膜上,形(xing)(xing)成(cheng)空氣一(yi)固體(ti)交界面;還有一(yi)種方式是(shi)采用“聲(sheng)波鏡”形(xing)(xing)成(cheng)反射面來實現,這種結構被稱為“固態裝配諧振器(SMR)。
薄膜體聲波濾波器的材料設計及應用-豆丁網
鋯鈦酸鉛溶膠(jiao)凝膠(jiao)諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)建立微型體聲(sheng)波諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)機械結(jie)構的等效電(dian)路(lu)模型,運用PSPICE軟件研究(jiu)4湯(tang)亮;郝震宏;喬東(dong)海(hai);汪承(cheng)灝(hao);;ZnO固態裝配(pei)型諧(xie)(xie)振(zhen)器(qi)(SMR)。
龍俞兆-技術總結-道客巴巴
[0003]壓電薄膜諧振器(qi)可以分(fen)類(lei)為FBAR(膜體聲(sheng)諧振器(qi))型(xing)和SMR(固態裝配諧振器(qi))型(xing)。[0003]thepiezoelectricthinfilmresonatorcanbeclassifiedasFBAR。
PZT薄膜材料的生長與應用-《廈門大學》2009年碩士論文
上(shang)述聲(sheng)波器件的示(shi)例為諸如FBAR(膜體(ti)聲(sheng)波諧振(zhen)器)和SMR(SolidlyMoutedResonator:固態裝配(pei)諧振(zhen)器)的薄膜諧振(zhen)器。Examplesoftheacousticwavedevicesuchas。
CN101083460B-Filterhavingmultiplepiezoelectricthin-
聲諧振(zhen)器(qi)(10;110;和210)包括少部分地補償(chang)通過電極壓電疊層(18)引入的溫度(du)感應效應的鐵磁補償(chang)器(qi)(20;120;和220)。該補償(chang)器(qi)具有正頻率溫度(du)系數(shu),而疊層具有負。
BAW_百度文庫
包(bao)含這(zhe)些壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的濾波(bo)器(qi)也受到關注。[0003]壓電(dian)薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器(qi)的例(li)子包(bao)括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧(xie)振(zhen)器(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固(gu)態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),Solidly。
CN101136620B-Acousticwavedevice,filterandduplexer
將上述(shu)壓電薄(bo)膜諧振(zhen)器分為兩(liang)種類型,FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振(zhen)器)和SMR(固態裝配諧振(zhen)器)。FBAR包括層(ceng)疊在諸如硅或玻璃的基(ji)板上的上電極(ji)膜、壓電膜和下電極(ji)膜的層(ceng)疊結(jie)構。
布喇格反射層對SMR性能影響的仿真分析SimulationAnalysisof
包含(han)這些壓電(dian)(dian)薄(bo)膜諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)的(de)濾波器(qi)(qi)也受到關(guan)注(zhu)。壓電(dian)(dian)薄(bo)膜諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi)的(de)例子包括FBAR(薄(bo)膜腔聲諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi),FilmBulkAcousticResonator)型和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振(zhen)(zhen)器(qi)(qi),SolidlyMounted。
CN1340915A-聲波諧振器及在溫度變化時運行其以保持諧振的
另外(wai)值得一提的(de)是,德國的(de)Infneon公司(si)在(zai)2003年推出(chu)了具(ju)有布(bu)拉(la)格反射層結構的(de)固貼式(又稱固態裝配型)薄(bo)膜體聲波諧振器(SMR-FBAR)[9-10].而我國關于。
CN1862959B-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
0引(yin)(yin)言固態引(yin)(yin)信(xin)諧振器是(shi)電子安全系統的重(zhong)要組(zu)成(cheng)部分之一,它能在后(hou)坐加速度(du)和旋轉離心力的作用下向前運(yun)動,使限位保險處于(yu)(yu)鎖定(ding)狀態,從而(er)使引(yin)(yin)信(xin)處于(yu)(yu)待發狀態。但是(shi),。
CN1677852A-諧振器濾波器以及諧振器的制造-Google
毫(hao)米波平(ping)面振蕩器基(ji)片集(ji)成波導相位噪聲雙(shuang)端口壓控振蕩器注入鎖定諧(xie)波振蕩器毫(hao)米波平(ping)面振蕩器是毫(hao)米波平(ping)面集(ji)成系統(tong)ZnO固態裝配型諧(xie)振器(SMR)的(de)模(mo)擬分析(xi)[。
CN1862959A-壓電薄膜諧振器與濾波器-Google
聲諧振器(10;110;和210)包括少(shao)部分地(di)補償通過電極壓電疊層(18)引入的溫度(du)感(gan)應效應的鐵磁補償器(20;120;和220)。Theacousticresonator(10;110;and。
薄膜體聲波諧振器(FBAR)的結構制備工藝研究-會議論文-道客巴巴
關鍵詞:微波濾(lv)波器時(shi)域有限差分(fen)法階梯(ti)阻抗(kang)諧振(zhen)器橢圓函數濾(lv)波器多層6湯(tang)亮;郝震宏;喬東海;汪承灝;;ZnO固態裝配型諧振(zhen)器(SMR)的模擬分(fen)析[A];。
固貼式薄膜體聲波諧振器用材料體系研究進展-豆丁網
摘要固態微型(xing)諧振器(qi)的工作頻率(lv)高、功率(lv)容量大、損耗低、體積小,是(shi)目前有望第三種為(wei)本研究采(cai)用反射層聲學隔離固定(ding)結構(SolidlyMountedResonatorSMR),如(ru)圖l一。
MEMS固態引信諧振器的系統級設計與仿真-《科技廣場》2007年09期
在固態裝配型(xing)諧(xie)振器(SMR)方面(mian),論文(wen)采用(yong)上(shang)述模型(xing)分析了(le)四分之(zhi)一(yi)波(bo)長布拉格反射柵對其諧(xie)振特(te)性的影響,得到了(le)SMR器件獲得理想性能所(suo)需的少(shao)反射柵對數;另外,考慮到實(shi)際。
復合雙壓電層FBAR的建模與仿真楊成韜1,李健雄1,許紹俊2,銳1,-
這樣形成的諧振器是(shi)固態(tai)裝(zhuang)配諧振器(SMR)。Thethusformedassemblyoftheresonatoriidresonator(SMR).在一個實施例中,襯底12由(you)硅(Si)制成,。
基于基片集成波導的高性能毫米波平面振蕩器研究與應用-《電子
大字報利用無線傳感器(qi)網絡實現(xian)運(yun)(yun)動(dong)聲(sheng)源(yuan)的定位與跟蹤錄取,報告用相對運(yun)(yun)動(dong)幾何求(qiu)解BOT問題ZnO固(gu)態(tai)裝配型諧振器(qi)(SMR)的模擬分(fen)析PGC解調光纖傳聲(sheng)器(qi)技(ji)術的討論一種單。
CN1229917C-Soundwaveresonator-Google
將上述(shu)壓電(dian)(dian)薄膜(mo)(mo)(mo)諧振器(qi)(qi)分(fen)為兩(liang)種類型,FBAR(薄膜(mo)(mo)(mo)腔聲諧振器(qi)(qi))和SMR(固態(tai)裝配(pei)諧振器(qi)(qi))。FBAR包括層(ceng)疊在諸如硅(gui)或玻璃的(de)(de)基(ji)板上的(de)(de)上電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)(mo)、壓電(dian)(dian)膜(mo)(mo)(mo)和下電(dian)(dian)極膜(mo)(mo)(mo)的(de)(de)層(ceng)疊。
無線通信系統中的微波濾波器性能及小型化研究-《上海大學》2004
2007年10月31日-壓電薄(bo)膜諧(xie)振(zhen)器可分(fen)成FBAR(薄(bo)膜塊(kuai)體聲波諧(xie)振(zhen)器)型(xing)和SMR(固態裝配(pei)諧(xie)振(zhen)器,solidlymountedresonator)型(xing)。Thepiezoelectricthinfilmresonatormay。
基于MoTi布拉格反射層的固態微型諧振器與濾波器的研究-豆丁網
該傳(chuan)感器(qi)是混合型(xing)諧(xie)振(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)結構,其可以(yi)在制造過程(cheng)中被(bei)集成于車(che)輛(liang)地面連(lian)接裝置HBAR“高(gao)模薄膜體聲波諧(xie)振(zhen)器(qi)”),或(huo)者帶有布(bu)拉格反射鏡(SMR“固(gu)態裝配型(xing)諧(xie)振(zhen)。
基于CMOS工藝的高性能射頻濾波器:體聲波濾波器BAW_百度文庫
該傳感器是混合型諧(xie)振(zhen)無(wu)源諧(xie)振(zhen)結構,其可(ke)以在制造過程中被集(ji)成于車輛(liang)地面連接裝置HBAR"高(gao)模薄(bo)膜體聲波諧(xie)振(zhen)器"),或者帶有布拉(la)格反射鏡(jing)(SMR"固態裝配型諧(xie)振(zhen)器"。
院機構知識庫網格(CASIRGRID):MEMS射頻薄膜體聲波諧振器(
2010年6月16日-[0020]壓電薄膜諧(xie)振器包括FBAR型(xing)和(he)SMR型(xing),其中FBAR是薄膜體聲波(bo)諧(xie)振器(Film-BulkAcousticResonator)的縮寫,以及(ji)SMR是固態安裝(zhuang)諧(xie)振器(SolidlyMounted。
CN1845453A-Acousticresonatorperformanceenhancement
2005年10月5日-將上述壓電薄膜(mo)諧振器分為兩種類型,FBAR(薄膜(mo)腔聲諧振器)和SMR(固(gu)態裝配諧振器)。Theabovepiezoelectricthinfilmresonatorisdividedinto。
薄膜諧振器技術概述_百度文庫
[0003]壓(ya)電(dian)薄(bo)膜(mo)諧(xie)振(zhen)器(qi)可分成FBAR(薄(bo)膜(mo)塊體(ti)聲波諧(xie)振(zhen)器(qi))型和(he)SMR(固態裝配諧(xie)振(zhen)器(qi),solidlymountedresonator)型。FBAR具有由上部電(dian)極、壓(ya)電(dian)膜(mo)和(he)下(xia)部電(dian)極構成的。